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真空泵的負(fù)壓范圍真空泵的負(fù)壓范圍可以從0.1帕到10^-11帕不等。具體來說：旋轉(zhuǎn)葉片真空泵的負(fù)壓一般可以達(dá)到0.1-0.01帕的級(jí)別。固體活塞真空泵的負(fù)壓可以達(dá)到0.5帕左右。渦輪分子泵的負(fù)壓可以達(dá)到10^-6-10^-11帕的級(jí)別，是目前真空度Z高的一種泵。
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